1、久视元年（700年），狄仁杰进拜内史，随武则天巡幸三阳宫。当时，文武百官多随驾前往，唯有狄仁杰获赐宅第一所，恩宠冠绝当朝。是年九月，狄仁杰病逝，终年七十一岁。武则天废朝三日，追赠他为文昌右相，赐谥号文惠。

2、营州之乱时，得到起复。神功元年（697年），再度拜相，担任鸾台侍郎、同平章事，迁纳言。勇于犯颜直谏，力劝武则天复立庐陵王李显为太子，培植举荐忠于唐朝的势力，成为大唐社稷得以延续的重要支柱。

3、久视元年（700年），拜内史令。同年九月，病逝，追赠文昌右相，谥号文惠。唐中宗复位后，追赠司空、梁国公，累赠太师，配享中宗庙廷。